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아르곤 에어로졸은 초고순도 아르곤과 질소의 혼합물을 진공상태로 기화 냉각시켜 형성시킨 에어로졸이다. 건식세정에서 아르곤 에어로졸을 분사하여 세정한다. 파티클 제거, 박막 손상방지, 구리 부식 방지 등 장점이 있다.
건식세정방식에는 또 레이저 세정, 드라이아이스 세정, 자외선 세정, 플라즈마 세정 등 방식이 있다.
아르곤 에어로졸을 이용한 식각후처리 방법
감광막이 잔류하거나 레시듀가 남는 문제를 억제하는데 적합한 반도체장치의 식각후처리 방법을 제공하기 위한 것으로, 이를 위한 식각후처리 방법은 웨이퍼상의 박막상에 감광막패턴을 형성하는 단계, 상기 감광막패턴을 식각마스크로 하여 상기 박막을 식각하는 단계, 상기 감광막패턴을 스트립하는 단계, 및 아르곤 에어로졸을 이용하여 세정하는 단계를 포함하며, 아르곤 에어로졸은 -253℃의 극저온으로 아르곤을 냉각하여 발생시키고, 아르곤 에어로졸의 충돌에너지를 증가시키기 위해 가속 질소를 10ℓ/min∼100ℓ/min의 속도로 공급한다.
아르곤
아르곤(Argon)은 주기율표의 화학 원소로 기호는 Ar이고 원자 번호는 18이다. 18족에 속하는 비활성 기체로 지구 대기의 약 0.934%를 차지하며, 비활성 기체 중 지구에서 가장 흔하다. 1894년 영국의 레일리에 의해 발견되었다. 상온에서는 무색,무취의 기체이다.
아르곤은 고체, 액체, 기체 상태 모두 무색, 무취인 불연성의 기체이다. 물에 대한 용해도는 산소와 비슷하며, 질소보다는 약 2.5배가량 더 용해된다. 대부분의 경우 화학적으로 매우 안정하여 화합물을 형성하지 않는다. 그러나 극저온에서는 일부 아르곤 화합물이 관찰된 적이 있다. 2000년 핀란드 헬싱키 대학에서 발견된 아르곤 플루오로하이드라이드(HArF)가 대표적이다. 또한 반응성이 큰 플루오린과 염소와도 결합을 잘 하지 못한다고 알려져 있었으나, 물 분자들 사이에 들어가 결합할 수 있다는 사실이 알려졌다.
에어로졸
에어로졸(Aerosol)은 공기나 다른 기체에 미세한 고체 입자나 액체 방울이 섞여 현탁 상태를 이룬 혼합물이다. 기체나 그것에 섞은 물질을 따로 따로 가리키는 것이 아니라 혼합물 자체를 나타낸다. 자연적으로 형성되거나 인위적 원인으로 만들어 질 수도 있다. 자연적으로 형성되는 연무질의 예로는 안개, 황사, 숲의 나무들이 내는 삼출물, 간헐천에서 솟는 증기와 같은 것들이 있다. 인위적 에어로졸의 예로는 미세먼지와 같은 대기 오염 물질이 섞인 공기, 수력발전소에서 발생하는 안개, 관개를 위한 스프링클러에서 나오는 물방울이 섞인 공기, 향수통과 같은 분무기에서 뿌려진 액체가 섞인 공기, 연기, 먼지, 주전자의 증기, 살충제 살포 및 호흡기 질환에 쓰이는 약물 분사기 등을 들 수 있다. 담배 연기나 전자담배도 인위적인 연무질에 속한다.
연무질을 이루는 액체 방울이나 고체 입자는 일반적으로 직경 1 μm 미만의 크기를 지닌다. 그 보다 더 큰 입자는 빠르게 가라앉기 때문에 안정적인 현탁 상태를 유지하기 어렵다. 헤어스프레이와 같은 스프레이 형태의 제품들은 물질을 연무질 상태로 사용하기 위해 고안된 것이다.
코로나-19와 같은 질병은 호흡기 비말 형태로 전파되는데, 감염된 사람의 호흡, 말하기, 기침 등에 섞인 침 등의 액체가 연무질을 이루어 전파된다.
참고자료
같이 보기
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